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  • 清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī)
    清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備,最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶(hù)的技術(shù)要求,提供了可以滿(mǎn)足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī),以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
  • 上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備
    上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月,上海交通大學(xué)采購(gòu)我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻,涂覆面積為150*150mm,具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
  • 電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠
    電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠 電子科技大學(xué)已采購(gòu)多臺(tái)等離子設(shè)備,包括PLUTO-T等離子清洗機(jī),PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等,用戶(hù)反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有:晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

從操作到維護(hù):全面了解等離子去膠機(jī)

等離子去膠機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗和去膠的設(shè)備,它通過(guò)氣體放電產(chǎn)生等離子體,這些高能粒子能夠解離化學(xué)鍵、改變分子結(jié)構(gòu),從而有效去除硅片、玻璃片等材料...

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技術(shù)文章| Technical articles

國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)的常見(jiàn)問(wèn)題及解決方法

國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)在使用過(guò)程中可能會(huì)遇到多種常見(jiàn)問(wèn)題,這些問(wèn)題涉及氣體供應(yīng)、真空系統(tǒng)、電源、電極或噴嘴、控制系統(tǒng)、溫度以及操作等方面。一、氣體供應(yīng)問(wèn)題問(wèn)題表現(xiàn):氣體瓶壓力不足或氣體流量調(diào)節(jié)異常,導(dǎo)致等離子體無(wú)法正常形成。解決方法:檢查氣體瓶的壓力,確保氣體充足;調(diào)節(jié)氣體流量控制器,確保氣體流量在設(shè)備要求的范圍內(nèi)。二、真空系統(tǒng)故障問(wèn)題表現(xiàn):真空泵故障、真空管道泄漏或真空腔門(mén)未關(guān)嚴(yán),導(dǎo)致真空度不足,影響清洗效果。解決方法:檢查真空泵的運(yùn)行狀態(tài),必要時(shí)進(jìn)行維修或更換;檢查真空管道的連...

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